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往復(fù)式真空泵(又稱活塞式真空泵)的極限真空，單級(jí)為4×102～i03Pa，雙級(jí)可達(dá)1Pa，抽速范圍45～20000ma／h，用于從密封的容器中抽出氣體。被抽氣體溫度不超過35℃。如果加上輔助設(shè)備，如冷凍器，也可以抽蒸汽。往復(fù)式真空泵的排氣量較大，多用于真空浸漬、鋼水真空處理、真空蒸餾、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空結(jié)晶、真空干燥、真空過濾及混凝土的真空作業(yè)等。 往復(fù)真空泵的結(jié)構(gòu)見圖2-77，工作原理見圖2-78。
無油往復(fù)真空泵由于采用自潤(rùn)滑材料的活塞環(huán)、密封環(huán)，氣缸內(nèi)無需加油潤(rùn)滑；在汽缸與機(jī)體之間加設(shè)隔油腔(其長(zhǎng)度大于一個(gè)行程長(zhǎng)度)，阻止機(jī)體內(nèi)潤(rùn)滑油沿活塞桿漏入汽缸，所以該泵對(duì)被抽系統(tǒng)無污染。無油往復(fù)真空泵有立式和臥式兩種結(jié)構(gòu)。
該水泵的應(yīng)用范圍是：需要清潔真空的環(huán)境；在氣體需要回收時(shí)，可在充氣腔充入回收氣體，以保證氣體的純度；當(dāng)抽除易燃易爆氣體時(shí)，可向隔離腔充入惰性氣體，使空氣(助燃劑)無法漏入汽缸，避免事故發(fā)生。
往復(fù)式真空泵對(duì)于抽除腐蝕性的氣體或含有顆粒狀灰塵的氣體是不適用的。被抽氣體中如果含有灰塵，在泵的進(jìn)口處必須加裝過濾器。
往復(fù)式真空泵的型式與基本參數(shù)參考JB／T 7675--2005。
